主要规格及技术指标

扫描电镜全称扫描电子显微镜，简称SEM，是根据电子光学原理，用聚焦很细的电子束照射到要检测的样品表面，电子束与样品相互作用产生各种信息，使物质的细微结构在非常高的放大倍数下成像的仪器。扫描电镜主要包括电子光学系统、真空系统、成像系统以及检测器。

主要功能及特色

可获得高分辨率，高电流和低噪音图片。该设计提供了多种工作模式和显示模式，体现了可优化电子束光阑的中间镜设计。结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪可模拟和进行束斑优化，成像速度快。